壓縮空氣精密過濾器是用于過濾壓縮空氣中固體顆粒、水滴及油霧等氣溶膠類雜質的過濾裝置，常見的壓縮空氣精密過濾器性能參數有：過濾精度、殘余油份、過濾效率、處理流量等。

過濾精度：衡量壓縮空氣過濾器的性能指標。從過濾器的精度來看，影響壓縮空氣過精度最關鍵的是濾芯，而過濾器的濾芯決定著空氣過濾器的精度。 

殘余油份：一般指液體油，并不包括氣體油，油份數值越低則過濾性能越好。

過濾效率：所過濾的雜質與進氣口壓縮空氣中雜質的比率，一般而言精密過濾器的過濾效率能達到99%，而高效精密過濾器則能達到99.99%。

處理流量：是指精密過濾器能夠處理的流量值，流量的選擇要根據空壓機的流量來定，一般會選擇大于或者等于空壓機的流量。